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J-GLOBAL ID：201702249251663526   整理番号：17A1696488

微小電子源の作製技術を利用した超小型エレクトロスプレースラスタの試作

著者 (8件)： 村上勝久 (産業技術総合研) ,  長尾昌善 (産業技術総合研) ,  井上直樹 (横浜国大) ,  鷹尾祥典 (横浜国大) ,  KHUMPUANG Sommawan (産業技術総合研) ,  原史朗 (産業技術総合研) ,  KHUMPUANG Sommawan (ミニマルファブ推進機構) ,  原史朗 (ミニマルファブ推進機構)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 117  号： 267(ED2017 36-48)  ページ： 47-50  発行年： 2017年10月19日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 超小型の人工衛星に搭載できるような非常に小さな宇宙推進機(スラスタ)を作製する事を目的とし,これまで筆者らが開発してきた微小電子源(フィールドエミッタアレイ)の作製技術を生かし,イオン液体を推進剤とし従来に比べて一桁以上小さな超小型エレクトロスプレースラスタの構造および,作製プロセスを検討した。考案したエレクトロスプレースラスタは,イオンを放出するエミッタの密度が10⁶個/cm2以上の高密度のものであり,従来のMEMS技術を使って作製されているものに比べて100倍以上の集積度を実現できる。また,イオンを放出するホールを1μm以下と非常に小さく設計したのも特徴であり,これによりドロップレットの発生を抑えることを期待している。ミニマルファブのリソグラフィーとDeep-RIEを用いて実際に作製した結果,形状的にはほぼ狙ったとおりのものが作製できた。(著者抄録)

シソーラス用語： *電子源 ,  装置 ,  推進 ,  *推進システム ,  *電界放出アレイ ,  噴霧 ,  RIE【エッチング】 ,  イオン液体
準シソーラス用語： DRIE【エッチング】 ,  エレクトロスプレイ ,  スラスタ ,  推進装置 ,  微小電子源

分類 (1件)： 熱電子放出,電界放出  (BM09020S)

引用文献 (7件)：

• B. Doncaster, C. Williams, and J. Shulman, “2017 Nano/Microsatellite Market Forecast”, http://www.spaceworksforecast.com/, SpaceWorks Enterprises, Inc., (2017).
• H. Koizumi, H. Kawahara, K. Yaginuma, J. Asakawa, Y. Nakagawa, S. Kojima, T. Matsuguma, R. Funase, J. Nakatsuka and K. Komurasaki, “Initial Flight Operations of the Miniature Propulsion System Installed on Small Space Probe: PROCYON, Trans. JSASS Aereospace Tech. Japan, 14, pp. Pb_13-Pb_22, (2016).
• J. Dupont, R. F. Souza, P. A. Z. Suarez, “Ionic Liquid Phase Organometallic Catalysis, Chem. Rev. 102, pp.3667-3692, (2002).
• D. G. Courtney, H. Q. Li, and P. Lozano, “Emission measurements from planar arrays of porous ionic liquid ion sources”, J. Phys. D: Appl. Phys. 45, 485203 (2012).
• S. Dandavino, C. Ataman, C. N. Ryan, S. Chakraborty, D. Courtney, J. P. W. Stark and H. Shea, “Microfabricated electrosplay emitter arrays with integrated extractor and accelerator electrodes for the propulsio of small space craft”, J. Micromech. Microeng. 24, 075011 (2014).

タイトルに関連する用語 (4件)： 微小 ,  電子源 ,  作製技術 ,  試作