Yang Jiancheng について
Department of Chemical Engineering, University of Florida, Gainesville, Florida 32611 について
Ahn Shihyun について
Department of Chemical Engineering, University of Florida, Gainesville, Florida 32611 について
Ren Fan について
Department of Chemical Engineering, University of Florida, Gainesville, Florida 32611 について
Pearton Stephen について
Department of Materials Science and Engineering, University of Florida, Gainesville, Florida 32611 について
Khanna Rohit について
Plasma-Therm, Saint Petersburg, Florida 33716 について
Bevlin Kristen について
Plasma-Therm, Saint Petersburg, Florida 33716 について
Geerpuram Dwarakanath について
Plasma-Therm, Saint Petersburg, Florida 33716 について
Kuramata Akito について
Tamura Corporation and Novel Crystal Technology, Inc., Sayama, Saitama 350-1328, Japan について
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena について
酸化ガリウム について
誘導結合プラズマ について
プラズマエッチング について
塩素 について
ホウ素化合物 について
塩化物 について
単結晶 について
アルゴン について
混合気体 について
加工速度 について
異方性 について
パターン転写 について
Schottky障壁ダイオード について
因子 について
高さ について
エネルギー について
フラックス【流束】 について
電力 について
エッチング速度 について
Schottkyダイオード について
理想因子 について
障壁高さ について
イオンエネルギー について
プラズマ電力 について
固体デバイス製造技術一般 について
バルク について
単結晶 について
Ga2O3 について
誘導結合プラズマ について
エッチング について