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J-GLOBAL ID：201702257811041888   整理番号：17A1374960

バイモルフ型形状可変ミラーのための低ドリフト形状制御プロセスの開発

著者 (7件)： 林宏樹 (大阪大 大学院) ,  後藤拓実 (大阪大 大学院) ,  山口浩之 (大阪大 大学院) ,  中森紘基 (大阪大 大学院) ,  松山智至 (大阪大 大学院) ,  佐野泰久 (大阪大 大学院) ,  山内和人 (大阪大 大学院)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2017  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.M39  発行年： 2017年09月05日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 我々は,任意サイズのX線を形成可能な光学系を開発するため,圧電素子駆動のバイモルフ型形状可変ミラーの研究を行ってきた。圧電素子は,ミラー形状をナノメートルオーダーで制御可能である反面,ドリフトにより形状が変化し続け,時間安定性が低くなるという問題を抱えている。本研究では,圧電素子のドリフトを抑制可能な電圧印加プロセスを提案し,3時間以内で形状可変ミラーの形状を安定させることに成功した。(著者抄録)

シソーラス用語： *鏡 ,  *適応光学 ,  *形状制御 ,  *圧電素子 ,  *安定性 ,  ドリフト ,  *ビーム集束 ,  X線 ,  光学素子 ,  X線源 ,  *光源 ,  高感度 ,  高分解能 ,  光学系 ,  *測定精度 ,  曲率 ,  積層構造 ,  形状測定
準シソーラス用語： *バイモルフ ,  *形状可変ミラー ,  時間安定性 ,  *ドリフト低減 ,  *X線集束

分類 (3件)： 光源  (BD07020D) ,  X線技術  (BA02060D) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

引用文献 (6件)：

• T. Kimura, et al., Opt. Express 21, 9267-9276 (2014)
• S. Matsuyama, et al., Scientific Reports 6, 24801 (2016).
• H. Nakamori, et al., Rev. Sci. Instrum. 83, 053701 (2012).
• T. Goto, et al., Rev. Sci. Instrum., 86 043102 (2015).
• O. Hignette, et al., SPIE Proc. 3152, 188 (1997).

タイトルに関連する用語 (6件)： バイモルフ ,  形状可変ミラー ,  ドリフト ,  形状制御 ,  プロセス ,  開発