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J-GLOBAL ID：201702279724664875   整理番号：17A0629446

電子線による位相イメージングの現状 環状分割検出器を用いたホローコーンSTEMによる位相再生

著者 (5件)： 石田高史 (名古屋大 未来材料・システム研) ,  川崎忠寛 (名古屋大 未来材料・システム研) ,  川崎忠寛 (ファインセラミックセ ナノ構造研) ,  丹司敬義 (名古屋大 未来材料・システム研) ,  生田孝
資料名： 顕微鏡  (Microscopy)
巻： 52  号： 1  ページ： 13-18  発行年： 2017年04月30日 
JST資料番号： Y0541A  ISSN： 1349-0958  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 走査透過電子顕微鏡において,試料を透過した電子波の位相変化を回復する手法の1つとして円環絞りと環状アレイ検出器を用いた位相コントラスト環状明視野法を開発した。本手法は,円環絞りを用いてホローコーンビームを作ることにより分解能を維持したまま焦点深度を拡大することができるため,運動学的な近似が成立する範囲で厚い試料の定量的な投影ポテンシャルの再生に期待が持てる。本稿では,本手法で用いる電子光学系及び位相再生のプロセスの概要,実際に開発した装置,結晶性試料を用いた原理検証結果及びイメージシミュレーションを用いた本手法の応用可能性についての検討結果について紹介する。(著者抄録)

シソーラス用語： *画像処理 ,  電子顕微鏡観察 ,  *透過型走査電子顕微鏡 ,  位相シフト ,  放射線検出器 ,  フィルタリング ,  グラファイト
準シソーラス用語： *位相イメージング ,  ホローコーンSTEM ,  電子検出器

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

引用文献 (18件)：

• Shibata, N., Kohno, Y., Findlay, S.D., Sawada, H., Kondo, Y. and Ikuhara, Y.: J. Electron Microsc., 59, 473-479 (2010)
• Okunishi, E., Ishikawa, I., Sawada, H., Hosokawa, F., Hori, M. and Kondo, Y.: Microsc. Microanal., 15, 164-165 (2009)
• Findlay, S.D., Saito, T., Shibata, N., Sato, Y., Matsuda, J., Asano, K., Akiba, E., Hirayama, T. and Ikuhara, Y.: Appl. Phys. Express, 3, 116603 (2010)
• Ishikawa, R., Okunishi, E., Sawada, H., Kondo, Y., Hosokawa, F. and Abe, E.: Nat. Mat., 10, 278-281 (2011)
• Pennycook, T.J., Lupini, A.R., Yang, H., Murfitt, M.F., Jones, L. and Nellist, P.D.: Ultramicroscopy, 151, 160-167 (2015)

タイトルに関連する用語 (7件)： 電子線 ,  位相イメージング ,  現状 ,  環状 ,  検出器 ,  STEM ,  位相