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J-GLOBAL ID：201702284897273849   整理番号：17A1724269

高Q値長さ伸長モード水晶マイクロ共振器のDRIE【Powered by NICT】

DRIE of high Q-factor length-extensional mode quartz micro-resonator

著者 (4件)： Chapellier Paul (Dept. DPhIEE/CMT ONERA, The French Aerospace Lab Chatillon, FRANCE) ,  Verlhac Beatrice (Dept. DPhIEE/CMT ONERA, The French Aerospace Lab Chatillon, FRANCE) ,  Lavenus Pierre (Dept. DPhIEE/CMT ONERA, The French Aerospace Lab Chatillon, FRANCE) ,  Dulmet Bernard (ENSMM FEMTO-ST Besanc,on, FRANCE)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： EFTF IFCS  ページ： 218-221  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 二次元(2D)長さ伸長モード水晶微小共振器は,ONERAによって設計され,特許化されている。特異的デカップリングのおかげで,この共振器は3.10~13の理論限界近くの非常に高い品質因子×周波数生成物(Q.f)を示すことが期待される。この設計は,1MHzから10MHzまでの周波数の範囲を提供し,210~30μmの範囲の厚さの相似形状のためである。これらの非常に良好な特性と小寸法(最終パッケージは~310mm以下であると予測される)および石英(高い品質係数,圧電性と良好な熱安定性)の固有品質は,この共振器は超安定発振器に匹敵する性能に匹敵するサイズのMEMSシリコン共振器に優ることができるにしている。それにもかかわらず,高周波数デバイスを達成するために危機に瀕して小寸法は,特定の製造プロセス,石英(DRIE)の深い反応性イオンエッチングなどを必要とする。石英の深い反応性イオンエッチングを用いた二つの提案した製造プロセスの提示に焦点を当てた。実用的実現のための重要な因子を明らかにし,30μmと210μmの間の深さのエッチングを可能にし,垂直エッチング壁を促進するのに必要な設計の適応を明らかにした。最初の実現とキャラクタリゼーションについても報告した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *Q値 ,  生産工程 ,  品質 ,  MEMS ,  石英 ,  RIE【エッチング】 ,  発振器 ,  *微小共振器 ,  エッチング ,  *共振器 ,  HF【周波数】 ,  熱安定性
準シソーラス用語： 品質係数 ,  品質因子 ,  *水晶 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： Q値 ,  水晶 ,  マイクロ共振器 ,  DRIE