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J-GLOBAL ID：201702295122842919   整理番号：17A0656835

容量結合酸素放電における準安定O₂(b¹Σ_g⁺)及びエネルギー依存二次電子放出量の役割

The role of the metastable O₂(b¹Σ⁺_g) and energy-dependent secondary electron emission yields in capacitively coupled oxygen discharges

著者 (3件)： HANNESDOTTIR H (Univ. Iceland, Reykjavik, ISL) ,  GUDMUNDSSON J T (Univ. Iceland, Reykjavik, ISL) ,  GUDMUNDSSON J T (KTH-Royal Inst. of Technol., Stockholm, SWE)
資料名： Plasma Sources Science and Technology  (Plasma Sources Science and Technology)
巻： 25  号： 5  ページ： 055002,1-15  発行年： 2016年10月 
JST資料番号： W0479A  ISSN： 0963-0252  CODEN： PSTEEU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *放電機構 ,  *高周波放電 ,  *二次電子放出 ,  準安定状態 ,  酸素 ,  エネルギー依存性 ,  *プラズマシミュレーション ,  モンテカルロ法 ,  衝突 ,  *容量結合高周波放電 ,  *計算機利用 ,  *利用
準シソーラス用語： *容量結合放電 ,  PICシミュレーション

分類 (1件)： 気体放電  (BJ03020T)

タイトルに関連する用語 (7件)： 容量結合 ,  酸素 ,  放電 ,  O2 ,  エネルギー ,  二次電子放出 ,  役割