特許
J-GLOBAL ID：201703000038777627

封止装置および封止方法

発明者：
水流 則幸

水流 則幸 について

, 
西村 誠

西村 誠 について


出願人/特許権者：
常陽工学株式会社

常陽工学株式会社 について


代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-163385
公開番号（公開出願番号）：特開2015-032552
特許番号：特許第6203566号
出願日： 2013年08月06日
公開日（公表日）： 2015年02月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 真空チャンバー内で機能材料薄膜層を備えた基板フィルム上に封止フィルムを面接着する封止装置であり、 前記真空チャンバーは基板シートを載置して上下動するステージを備えた第1の真空チャンバーと、水平方向に移動する封止ローラーを内部に備え、前記第1の真空チャンバー上で上下動する第2の真空チャンバーからなり、 前記第1、第2の真空チャンバー間に前記封止フィルムを保持するメッシュシートを備えた通気ユニットを配置してなることを特徴とする封止装置。
IPC (5件)：
H05B 33/04 ( 200 6.01) ,  H01L 51/50 ( 200 6.01) ,  H05B 33/10 ( 200 6.01) ,  H01L 31/04 ( 201 4.01) ,  B29C 65/48 ( 200 6.01)
FI (5件)：
H05B 33/04 ,  H05B 33/14 A ,  H05B 33/10 ,  H01L 31/04 ,  B29C 65/48
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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