特許
J-GLOBAL ID：201703000160142217
マグネトロンスパッタリング装置用の回転式カソードユニット
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人青莪
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-501884
特許番号：特許第6205520号
出願日： 2016年01月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 円筒状のターゲットと、磁場の垂直成分がゼロとなる位置を通る線がターゲットの母線に沿ってのびてレーストラック状に閉じるようにターゲット表面から漏洩する磁場を発生させる磁石ユニットと、ターゲットの内部空間に冷媒を循環させる冷媒循環手段と、ターゲットを回転駆動する駆動手段とを備えるマグネトロンスパッタリング装置用の回転式カソードユニットにおいて、
ターゲットの内部空間に磁石ケースが挿設されると共に、大気状態にした磁石ケース内に磁石ユニットが配置され、
磁石ユニットがターゲットの母線方向両端でレーストラックのコーナー部を夫々形成する第1部分と、各第1部分からターゲットの母線方向内方で第1部分に夫々隣接配置される第2部分と、第2部分相互の間に位置する第3部分とに分けて構成され、各第1部分及び各第2部分を独立してターゲット表面に対し近接離間可能に進退させる移動手段が磁石ケース内に収容されることを特徴とするマグネトロンスパッタリング装置用の回転式カソードユニット。
IPC (3件)：
C23C 14/35 ( 200 6.01)
, C23C 14/34 ( 200 6.01)
, H05H 1/46 ( 200 6.01)
C23C 14/35 B
, C23C 14/34 B
, H05H 1/46 A
