特許
J-GLOBAL ID：201703001057031250

微細加工方法

発明者：
柴田 章広

柴田 章広 について

, 
厨川 常元

厨川 常元 について


出願人/特許権者：
デクセリアルズ株式会社

デクセリアルズ株式会社 について


代理人 (1件)： 野口 信博
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-155937
公開番号（公開出願番号）：特開2015-013786
特許番号：特許第6101589号
出願日： 2013年07月26日
公開日（公表日）： 2015年01月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基材上にポリシラザンであるガラス前駆体を塗布する塗布工程と、 前記ガラス前駆体に、パルス長が0.01ピコ秒〜5ピコ秒である短パルスレーザを照射し、レーザ波長以下の周期構造を形成する照射工程と を有する微細加工方法。
IPC (6件)：
C03C 17/25 ( 200 6.01) ,  B23K 26/36 ( 201 4.01) ,  B23K 26/00 ( 201 4.01) ,  C03B 19/12 ( 200 6.01) ,  G02B 1/11 ( 201 5.01) ,  B60J 1/00 ( 200 6.01)
FI (6件)：
C03C 17/25 Z ,  B23K 26/36 ,  B23K 26/00 G ,  C03B 19/12 A ,  G02B 1/11 ,  B60J 1/00 G
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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