特許

J-GLOBAL ID：201703001778087370

薬液の脱気方法及び装置

発明者： 二ツ木 高志 ,  笹山 久保幸
出願人/特許権者： オルガノ株式会社 ,  株式会社ニシヤマ
代理人 (2件)： 宮崎 昭夫 ,  緒方 雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-080107
公開番号（公開出願番号）：特開2017-189739
出願日： 2016年04月13日
公開日（公表日）： 2017年10月19日
要約：

【課題】例えば腐食性を有する薬剤を含む薬液を膜脱気する際に、脱気膜の気体側に漏出する薬剤による腐食、特に脱気膜の気体側の減圧に用いられる真空ポンプなどでの腐食の発生を抑制できるようにする。【解決手段】水に薬剤を溶解させた薬液を脱気する脱気装置において、脱気膜を有して脱気膜の液体側に薬液が通液する脱気モジュールと、脱気モジュールに接続され水を作動流体とする真空エジェクタと、を設け、真空エジェクタによって発生する減圧状態によって脱気膜の気体側を減圧する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

水に薬剤を溶解させた薬液を脱気する脱気方法であって、 脱気膜の液体側に前記薬液を通液しつつ前記脱気膜の気体側を減圧し、 前記気体側の減圧に、水を作動流体とする真空エジェクタによって発生する減圧状態を使用する、脱気方法。

IPC (3件)：

B01D 19/00 ,  B01D 61/00 ,  C02F 1/20

FI (5件)：

B01D19/00 H ,  B01D19/00 101 ,  B01D61/00 ,  C02F1/20 B ,  C02F1/20 A

Fターム (17件)：

4D006GA32 ,  4D006HA01 ,  4D006JA52Z ,  4D006MA01 ,  4D006PB20 ,  4D006PB62 ,  4D006PB63 ,  4D006PB65 ,  4D006PC01 ,  4D011AA16 ,  4D011AA17 ,  4D037AA01 ,  4D037AB11 ,  4D037AB12 ,  4D037BA23 ,  4D037BB03 ,  4D037CA03

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 脱気装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-200806   出願人：三菱レイヨン株式会社
• 電子材料用ウェット洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-341430   出願人：栗田工業株式会社
• 隔膜式脱気装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-098504   出願人：大日本インキ化学工業株式会社
• 薬液供給装置及び薬液の脱気方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-252260   出願人：大日本インキ化学工業株式会社
• 純水製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-057510   出願人：三浦工業株式会社