載置台システム、基板処理装置及び温度制御方法

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：伊東忠重 , 伊東忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-097778
公開番号（公開出願番号）：特開2017-208374
出願日： 2016年05月16日
公開日（公表日）： 2017年11月24日
要約：

【課題】省スペースで複数の加熱部の温度制御を行うことが可能な載置台システムを提供すること。【解決手段】基板を載置し、回転可能に設けられた載置台と、前記載置台に設けられ、前記載置台を加熱する複数の加熱部と、前記複数の加熱部に電力を供給する1つの電源と、前記載置台の回転角度に応じて、前記電源から電力が供給される加熱部を前記複数の加熱部のうちのいずれかに切り替える電力切替部と、を有することを特徴とする、載置台システムにより上記課題を解決する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

基板を載置し、回転可能に設けられた載置台と、前記載置台に設けられ、前記載置台を加熱する複数の加熱部と、前記複数の加熱部に電力を供給する1つの電源と、前記載置台の回転角度に応じて、前記電源から電力が供給される加熱部を前記複数の加熱部のうちのいずれかに切り替える電力切替部と、を有することを特徴とする載置台システム。

IPC (9件)：

H01L 21/683 , C23C 14/50 , C23C 16/46 , C23C 14/54 , C23C 16/52 , H01L 21/306 , H01L 21/205 , H01L 21/203 , H05B 3/00

FI (9件)：

H01L21/68 N , C23C14/50 E , C23C16/46 , C23C14/54 D , C23C16/52 , H01L21/302 101G , H01L21/205 , H01L21/203 S , H05B3/00 310D

Fターム (43件)：

3K058AA95 , 3K058BA19 , 4K029CA05 , 4K029DA12 , 4K029DC16 , 4K029DC34 , 4K029EA08 , 4K029JA02 , 4K030CA04 , 4K030GA02 , 4K030GA06 , 4K030HA13 , 4K030JA10 , 4K030JA16 , 4K030KA41 , 5F004AA01 , 5F004BB22 , 5F004BB24 , 5F004BB26 , 5F004CA03 , 5F045AA19 , 5F045BB02 , 5F045DP02 , 5F045DP28 , 5F045EK07 , 5F045EK22 , 5F045EM10 , 5F103AA08 , 5F103BB38 , 5F103BB42 , 5F131AA02 , 5F131BA03 , 5F131BA19 , 5F131CA39 , 5F131EA23 , 5F131EA24 , 5F131EB11 , 5F131EB81 , 5F131KA03 , 5F131KA23 , 5F131KA54 , 5F131KA72 , 5F131KB12

引用特許：

出願人引用 (7件)

加熱装置、処理装置、加熱方法及び処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-271497 出願人：東京エレクトロン株式会社
薄膜形成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-223845 出願人：株式会社荏原製作所
特開昭60-106968

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