特許
J-GLOBAL ID：201703002404211340
欠陥検出装置、欠陥修正装置および欠陥検出方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人深見特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-107126
公開番号（公開出願番号）：特開2014-062887
特許番号：特許第6184746号
出願日： 2013年05月21日
公開日（公表日）： 2014年04月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板を撮像して電気信号を出力するカメラと、
前記カメラが出力した電気信号が入力される画像処理装置とを備え、
前記画像処理装置は、前記カメラからの電気信号から得られる複数の信号毎の画像におけるコントラストのうちの、より大きいコントラストを用いて、前記基板の欠陥部を検出し、
前記画像処理装置は、
前記画像において任意の検査対象位置の画素の明るさを、前記基板のパターンピッチおよび前記画素のサイズの比によって決まる所定ピッチだけ当該検査対象位置から離れた位置である周辺部位の画素の明るさとを比較する画像比較部と、
前記画像比較部による前記明るさの比較結果を用いて前記欠陥部を抽出する欠陥抽出部とを含み、
前記画像比較部は、前記周辺部位の画素の明るさと前記周辺部位の画素に隣接あるいは近傍する画素との明るさの差分値が所定の閾値よりも大きい場合には、前記比較を実行しないように構成される、欠陥検出装置。
IPC (5件)：
G01B 11/30 ( 200 6.01)
, G01N 21/956 ( 200 6.01)
, G01B 11/00 ( 200 6.01)
, G01M 11/00 ( 200 6.01)
, G02F 1/13 ( 200 6.01)
G01B 11/30 A
, G01N 21/956 Z
, G01B 11/00 H
, G01M 11/00 T
, G02F 1/13 101
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (3件)
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