特許
J-GLOBAL ID：200903035529134057
光学式検査装置及びその方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-343215
公開番号（公開出願番号）：特開2007-147475
出願日： 2005年11月29日
公開日（公表日）： 2007年06月14日
要約：
【課題】半導体ウェハ上に存在する多種多様な検査対象において、半導体素子の歩留りに影響しない擬似欠陥の検出を抑制し、しかも半導体素子の歩留りに影響する微小な検出欠陥を高コントラストで検出できるようにして、高感度で、且つ高速の微小な欠陥検査を実現した光学式検査方法及びその装置を提供することにある。【解決手段】検査対象となる欠陥種に対応して、多様な光学機能を備えており、各光学機能別に検出したい検出欠陥及び検出したくない擬似欠陥の濃淡差などを蓄積し、高感度、低擬似率検査に有利な条件を効率的に選択する。光学系としては、波長帯域や照明方式並びにフィルタ条件の選択が可能である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
広波長帯域を有する光を出射する光源と、
該光源により出射された広波長帯域を有する光を試料の検査対象に照射する照明光学系と、
該照明光学系により前記光が照射された試料の検査対象から得られる広波長帯域を有する反射光を複数の波長帯域の反射光に分離する波長分離素子及び該波長分離素子により分離された各波長帯域の反射光学像を受光して画像信号を出力する複数のイメージセンサを有する検出光学系と、
検出したい検出欠陥を検出する画像処理部とを備え、
該画像処理部は、前記検出光学系の複数のイメージセンサの各々から得られる複数の画像信号の中から前記試料の検査対象の種類に応じて擬似欠陥の検出を抑制する所望の画像信号を選択し、該選択された画像信号を処理して前記検出欠陥を検出するように構成したことを特徴とする光学式検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (19件)：
2G051AA51
, 2G051AB02
, 2G051BA08
, 2G051BA20
, 2G051BB07
, 2G051BB20
, 2G051BC10
, 2G051CA01
, 2G051CA07
, 2G051CB01
, 2G051CB05
, 2G051CC09
, 2G051CC12
, 2G051DA05
, 2G051EA08
, 2G051EA11
, 2G051EA14
, 2G051EB09
, 2G051EC01
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (10件)
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