露光装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-071990
公開番号（公開出願番号）：特開2017-181936
出願日： 2016年03月31日
公開日（公表日）： 2017年10月05日
要約：

【課題】基板裏面を傷付けることなく、反りの大きい基板を搬送することが可能な基板搬送機構を備えた露光装置を実現する。【解決手段】露光ステージ上の基板にパターンを露光する露光装置であって、露光装置の内部へ搬入された、または、露光装置の外部へ搬出される基板を載置するテーブルと、テーブルに配設され基板の位置合わせを行う位置合わせユニットと、テーブルを水平方向に移動させるテーブル移動ユニットと、テーブルと露光ステージとの間で基板を搬送する搬送ユニットと、を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

露光ステージ上の基板にパターンを露光する露光装置において、前記露光装置の内へ搬入する、または、前記露光装置の外へ搬出する基板を載置するテーブルと、前記テーブルに配設され基板の位置合わせを行う位置合わせユニットと、前記テーブルを水平方向に移動させるテーブル移動ユニットと、前記テーブルと前記露光ステージとの間で基板を搬送する搬送ユニットと、を備えることを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

G03F 7/20 , H01L 21/677 , H01L 21/683

FI (3件)：

G03F7/20 501 , H01L21/68 A , H01L21/68 N

Fターム (35件)：

2H197AA01 , 2H197AA04 , 2H197AA05 , 2H197AA21 , 2H197CD22 , 2H197CD29 , 2H197EB20 , 2H197HA02 , 5F131BA13 , 5F131CA07 , 5F131CA09 , 5F131DA34 , 5F131DA42 , 5F131DA54 , 5F131DB22 , 5F131DB62 , 5F131DB72 , 5F131DD03 , 5F131DD43 , 5F131DD76 , 5F131EA02 , 5F131EB01 , 5F131FA26 , 5F131FA32 , 5F131FA33 , 5F131KA02 , 5F131KA14 , 5F131KA22 , 5F131KA52 , 5F131KB05 , 5F131KB30 , 5F131KB54 , 5F131KB55 , 5F131KB58 , 5F131KB60

引用特許：

出願人引用 (5件)

露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-021505 出願人：富士写真フイルム株式会社
露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-067214 出願人：ウシオ電機株式会社
特開平4-239797

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審査官引用 (4件)

露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-021505 出願人：富士写真フイルム株式会社
露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-067214 出願人：ウシオ電機株式会社
特開平4-239797

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