光学素子の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：阿部琢磨 , 黒岩創吾
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-118877
公開番号（公開出願番号）：特開2014-233826
特許番号：特許第6202888号
出願日： 2013年06月05日
公開日（公表日）： 2014年12月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被加工物よりも小さな加工面積を有する工具と前記被加工物とを相対的に移動させて、前記被加工物を加工することで光学素子を製造する光学素子の製造方法において、前記工具は、支持部と、前記被加工物と対向する面に形成された遷移金属を含む触媒部と、前記支持部と前記触媒部との間に配された弾性体とを有し、前記触媒部と前記被加工物との間に水分子を含有する加工液を供給し、前記触媒部と前記被加工物とを前記加工液を介在させて接触させて、前記弾性体を収縮させ、前記収縮させた弾性体の収縮量が所定の値以下になるまで加工を行なうことを特徴とする光学素子の製造方法。

IPC (3件)：