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J-GLOBAL ID：200902273291581542   整理番号：07A0548480

シリコンの触媒参照エッチング

Catalyst-referred etching of silicon
著者 (8件)：
HARA Hideyuki

HARA Hideyuki について

(Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka ...)

Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka ... について

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SANO Yasuhisa

SANO Yasuhisa について

(Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka ...)

Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka ... について

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ARIMA Kenta

ARIMA Kenta について

(Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka ...)

Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka ... について

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YAGI Keita

YAGI Keita について

(Res. Center for Ultra Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., JPN)

Res. Center for Ultra Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., JPN について

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MURATA Junji

MURATA Junji について

(Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka ...)

Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka ... について

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KUBOTA Akihisa

KUBOTA Akihisa について

(Dep. of Mechanical Engineering and Materials Sci., Kumamoto Univ., JPN)

Dep. of Mechanical Engineering and Materials Sci., Kumamoto Univ., JPN について

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MIMURA Hidekazu

MIMURA Hidekazu について

(Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka ...)

Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka ... について

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YAMAUCHI Kazuto

YAMAUCHI Kazuto について

(Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka ...)

Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka ... について


資料名：
Science and Technology of Advanced Materials  (Science and Technology of Advanced Materials)

Science and Technology of Advanced Materials について


巻： 8  号： 3  ページ： 162-165  発行年： 2007年04月 
JST資料番号： W1262A  ISSN： 1468-6996  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
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SiウエハおよびSiウエハ上に堆積した多結晶シリコンを触媒参...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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ケイ素

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分類 (1件)：
分類
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固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

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