特許
J-GLOBAL ID：201703003245805982
蒸着マスクの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
特許業務法人 インテクト国際特許事務所
, 石橋 良規
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-255113
公開番号（公開出願番号）：特開2017-066533
出願日： 2016年12月28日
公開日（公表日）： 2017年04月06日
要約：
【課題】大型化した場合でも高精細化と軽量化の双方を満たすことができ、さらにフレームに精度よく位置合わせすることができる蒸着マスクを提供すること。【解決手段】所定の開口部が設けられた第1の樹脂マスクと、スリットが設けられた金属マスクと、蒸着作製するパターンに対応した開口部が縦横に複数配置された第2の樹脂マスクと、がこの順で積層されてなる蒸着マスクとする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
フレームに取り付けられて用いられる蒸着マスクの製造方法であって、
金属板の一方の面に樹脂板が設けられている樹脂板付き金属板を準備する工程と、
前記樹脂板付き金属板における樹脂板が設けられていない面にレジスト材を塗工し、スリットパターンが形成されたマスクを用いて当該レジスト材をマスキングし、露光、現像することで、金属板の表面にレジストパターンを形成し、当該レジストパターンを第1の樹脂マスクとする工程と、
当該第1の樹脂マスクを耐エッチングマスクとして用いて金属板のみをエッチング加工することで金属マスクを形成する工程と、
前記第1の樹脂マスクおよび前記金属マスクに形成されたスリットを通してレーザーを
照射して、前記樹脂板に蒸着作製するパターンに応じた開口部を形成する工程と、
を含むことを特徴とする蒸着マスクの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
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