特許
J-GLOBAL ID:201703003318921374
アンプ内蔵型圧力センサ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
藤田 考晴
, 三苫 貴織
, 川上 美紀
, 長田 大輔
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-272376
公開番号(公開出願番号):特開2014-119272
特許番号:特許第6063240号
出願日: 2012年12月13日
公開日(公表日): 2014年06月30日
請求項(抜粋):
【請求項1】 流体の流路を備える配管に接続されるアンプ内蔵型圧力センサであって、
前記配管から流入する流体に接する受圧面を有し、該受圧面に接する流体と前記配管が設置される空間との差圧を検出して圧力信号を出力する圧力検出部と、
前記圧力検出部が検出した前記圧力信号を増幅する増幅回路を有する増幅回路基板と、
前記圧力検出部が固定されるハウジングと、
前記ハウジングに固定され、前記ハウジング内の空間を前記圧力検出部が配置される第1空間と前記増幅回路基板が配置される第2空間とに隔離する隔離部とを備え、
前記ハウジングは、前記増幅回路基板を冷却するための冷却気体を前記第2空間へ流入させる流入口と前記冷却気体を前記第2空間から排出させる排出口とを有し、
前記増幅回路により増幅された前記圧力信号を外部装置に伝達する外部配線が連結される連結部を備え、
前記第1空間は、前記外部配線を被覆する被覆部と該外部配線との間の第3空間を介して前記外部装置の近傍の空間と連通していることを特徴とするアンプ内蔵型圧力センサ。
IPC (2件):
G01L 19/06 ( 200 6.01)
, G01L 19/14 ( 200 6.01)
FI (2件):
G01L 19/06 Z
, G01L 19/14
引用特許:
審査官引用 (5件)
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静電容量式圧力センサ装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-351085
出願人:株式会社堀場エステック
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筒内圧センサ一体型点火装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-284287
出願人:株式会社ユニシアジェックス
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半導体圧力センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-050977
出願人:日本精機株式会社
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