特許
J-GLOBAL ID：201703004767220174

QCMセンサとその製造方法

発明者：
▲高▼須 良三

▲高▼須 良三 について


出願人/特許権者：
富士通株式会社

富士通株式会社 について


代理人 (1件)： 岡本 啓三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-229828
公開番号（公開出願番号）：特開2014-081297
特許番号：特許第6075002号
出願日： 2012年10月17日
公開日（公表日）： 2014年05月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 水晶板と、 前記水晶板の主面の上に設けられた電極と、 前記電極の表面に設けられ、20〜100nmの互いに同一の幅と20〜100nmの互いに同一の間隔とを有する複数の溝と、 を備えたQCMセンサ。
IPC (1件)：
G01N 5/02 ( 200 6.01)
FI (1件)：
G01N 5/02 A
引用特許：
審査官引用 (11件)
  • 特開平2-272347
  • 水質評価方法および装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-342514   出願人：株式会社日立製作所, 日立プラント建設株式会社
  • 水素検出装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-130911   出願人：本田技研工業株式会社, アルプス電気株式会社
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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