層状構造を備えるTiAlCN層

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：青木篤 , 石田敬 , 古賀哲次 , 出野知 , 蛯谷厚志 , 関根宣夫 , 松田淳浩 , 胡田尚則
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-551749
公開番号（公開出願番号）：特表2017-508632
出願日： 2015年03月03日
公開日（公表日）： 2017年03月30日
要約：

本発明は、カーバイド、サーメット、セラミック、鋼、又は高速度鋼の本体と、CVD法により適用され、3〜25μmの厚みの単層又は多層摩耗コーティングとを有する工具に関する。多層摩耗コーティングは、0.70≦x<1、0≦y<0.25、及び0.75≦z<1.15の化学量論係数を有し、1.5μm〜17μmの範囲内の厚みの少なくとも1つのTi1-xAlxCyNz層を有する。本発明は、Ti1-xAlxCyNz層が、150nm以下、好ましくは100nm以下、特に好ましくは50nm以下の厚みの複数の層を備える層状構造を備え、前記複数の層が、同じ結晶構造(結晶相)を有し、Ti及びAlの化学量論的割合が交互に異なる、Ti1-xAlxCyNz層の周期的に交番する領域で形成されていること、及び、Ti1-xAlxCyNz層が、少なくとも90vol%の面心立方(fcc)結晶構造を有すること、を特徴とする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

カーバイド、サーメット、セラミック、鋼又は高速度鋼のベース本体と、 CVDプロセスにより適用され3μm〜25μmの範囲内の厚みの単層又は多層摩耗保護コーティングと、を有する工具において、摩耗保護コーティングが、0.70≦x<1、0≦y<0.25、及び0.75≦z<1.15の化学量論係数を有し、1.5μm〜17μmの範囲内の厚みの少なくとも1つのTi1-xAlxCyNz層を有する工具であって、 -Ti1-xAlxCyNz層が、150nm以下、好ましくは100nm以下、特に好ましくは50nm以下の厚みの複数の層を備える層状構造を有すること、 -前記複数の層が、同じ結晶構造(結晶相)を有し、Ti及びAlの化学量論的割合が交互に異なる、Ti1-xAlxCyNz層の周期的に交番する領域で形成されていること、及び -Ti1-xAlxCyNz層が、少なくとも90vol%の面心立方(fcc)結晶構造を有すること、を特徴とする工具。

IPC (4件)：

B23B 27/14 , B23C 5/16 , C23C 16/36 , C23C 16/455

FI (4件)：

B23B27/14 A , B23C5/16 , C23C16/36 , C23C16/455

Fターム (30件)：

3C046FF02 , 3C046FF03 , 3C046FF04 , 3C046FF05 , 3C046FF10 , 3C046FF13 , 3C046FF16 , 3C046FF18 , 3C046FF22 , 3C046FF25 , 4K030AA03 , 4K030AA09 , 4K030AA13 , 4K030AA17 , 4K030BA02 , 4K030BA18 , 4K030BA38 , 4K030BA41 , 4K030BA43 , 4K030BB03 , 4K030BB12 , 4K030CA03 , 4K030CA05 , 4K030EA03 , 4K030FA10 , 4K030JA01 , 4K030JA06 , 4K030JA10 , 4K030JA11 , 4K030LA22

引用特許：

審査官引用 (9件)

硬質材料で被覆された物体
公報種別：公表公報出願番号：特願2010-550050 出願人：ケンナメタルインコーポレイテッド
窒化チタンアルミニウム膜被覆工具及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-166575 出願人：日立ツール株式会社
硬質膜被覆された物体およびその製造方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2008-519933 出願人：フラウンホーファー-ゲゼルシャフトツルフェルデルングデルアンゲヴァンテンフォルシュングエーファウ

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