冷陰極電離真空計及び内壁保護部材

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：岡部讓 , 吉澤弘司 , 三山勝巳 , 川崎孝
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-124495
公開番号（公開出願番号）：特開2015-001391
特許番号：特許第6131113号
出願日： 2013年06月13日
公開日（公表日）： 2015年01月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】放電空間を形成すべく一方の電極を円筒状の他方の電極が囲むように配置された2つの電極と、前記放電空間に配置され、前記他方の電極の周方向の内壁面を保護する電極保護部材と、を備え、前記電極保護部材は、導電性を有する板状の弾性部材を前記内壁面の前記周方向の形状に沿って円筒形状に弾性変形させた保護部を有し、前記保護部による付勢力が前記内壁面に印加されることによって、前記保護部は前記他方の電極に係止されていることを特徴とする冷陰極電離真空計。

IPC (1件)：