特許
J-GLOBAL ID：201703005947691589

漏れ検査装置

発明者：
堀田 滋

堀田 滋 について


出願人/特許権者：
高千穂精機株式会社

高千穂精機株式会社 について


代理人 (1件)： 井上 真一郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-174485
公開番号（公開出願番号）：特開2015-042948
特許番号：特許第6195763号
出願日： 2013年08月26日
公開日（公表日）： 2015年03月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 所定のガスが封入された密封体が載置される検査室を備える漏れ検査装置において、 前記検査室を密閉して減圧し、前記密封体の内部と外部の圧力差を発生させることで欠陥が存在する前記密封体から前記ガスを漏れ出させる第1の処理と、 前記第1の処理後に前記検査室の密閉を開放し、前記検査室内の気体の全てを前記検査室外部に排出する第2の処理と、 を実行する制御部を有し、 前記検査室は、前記検査室に連通して設けられ、ガス漏れの有無を分析する分析部に接続され、前記第2の処理において気体が排出される排気部と、前記第1の処理において閉塞状態となり、前記第2の処理において開口状態となる入気部とを有し、 前記密封体が前記検査室に載置された状態で前記入気部と前記排気部とが前記密封体の上方に位置し、 前記第2の処理において外部から前記検査室に入り込む気体の量が、前記検査室から流出する気体の量より大きくなるよう調整されている、 ことを特徴とする漏れ検査装置。
IPC (1件)：
G01M 3/20 ( 200 6.01)
FI (2件)：
G01M 3/20 E ,  G01M 3/20 B
引用特許：
審査官引用 (4件)
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