特許

J-GLOBAL ID：201703006693499948

オゾン含有ガス中のNOxガス検出方法およびその装置

発明者： 古谷 政博 ,  西村 宏 ,  中村 貞紀 ,  井上 吾一 ,  小池 国彦 ,  黒河 明
出願人/特許権者： 岩谷産業株式会社 ,  国立研究開発法人産業技術総合研究所
代理人 (1件)： 鈴江 正二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-032903
公開番号（公開出願番号）：特開2014-163720
特許番号：特許第6179934号
出願日： 2013年02月22日
公開日（公表日）： 2014年09月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 気体中に含まれるNOxガスを検出する方法であって、 NOxが付着するNOx吸着部(5)を配置した気体流路部(2)に、N2O、NO、NO2、N2O4、N2O5、NO3、HNO3から選ばれる少なくとも1つの成分とオゾンとが含まれる被測定気体を供給して、NOx吸着部(5)にNOxを吸着させ、 このNOx吸着部(5)にオゾンに吸収されない波長域である360 nm〜410 nmの入射光(Li)を光照射部(4)からを照射し、 NOx吸着部(5)の入射光(Li)および被測定気体に曝される部分の材料基材が、シリカゲル、もしくは、多孔質の表面を有する石英またはガラスで形成され、 NOx吸着部(5)を透過した透過光(Lt)、NOx吸着部(5)から反射した反射光(Lr)、NOx吸着部(5)で発生した発生光(Lg)の内の少なくとも1つの光を光検出部(6)で検出し、 光検出部(6)で得られた光強度をデータ記録解析部(7)で解析記録することを特徴とするオゾン含有ガス中のNOxガス検出方法。

IPC (7件)：

G01N 21/03 ( 200 6.01) ,  G01N 21/59 ( 200 6.01) ,  G01N 30/00 ( 200 6.01) ,  G01N 30/88 ( 200 6.01) ,  G01N 21/64 ( 200 6.01) ,  G01N 21/33 ( 200 6.01) ,  C01B 21/20 ( 200 6.01)

FI (7件)：

G01N 21/03 B ,  G01N 21/59 D ,  G01N 30/00 E ,  G01N 30/88 101 K ,  G01N 21/64 Z ,  G01N 21/33 ,  C01B 21/20

引用特許：

出願人引用 (4件)

• オゾンガスに含まれる窒素酸化物および水分の除去方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-279865   出願人：岩谷産業株式会社
• ガス検出法およびガス検出器
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-591813   出願人：ヴェーエムアーエアセンスアナリューゼンテヒニクゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
• 窒素酸化物検知装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-034394   出願人：富士通株式会社
• 二酸化窒素濃度測定装置および滅菌装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-059407   出願人：ノーリツ鋼機株式会社

審査官引用 (3件)

• オゾンガスに含まれる窒素酸化物および水分の除去方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-279865   出願人：岩谷産業株式会社
• ガス検出法およびガス検出器
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-591813   出願人：ヴェーエムアーエアセンスアナリューゼンテヒニクゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
• 窒素酸化物検知装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-034394   出願人：富士通株式会社

引用文献：

出願人引用 (1件)

• 紫外線吸収方式簡易形NO2計の試作

審査官引用 (1件)

• 紫外線吸収方式簡易形NO2計の試作