特許
J-GLOBAL ID：201703007249978895
複数の視野の高さマップを測定し、装置のドリフトに対する感度を最小限に抑えてこれらを合成高さマップに結合する方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
折坂 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-157971
公開番号（公開出願番号）：特開2017-040652
出願日： 2016年08月10日
公開日（公表日）： 2017年02月23日
要約：
【課題】非接触表面形状測定装置を用いて、測定対象の表面の複数の視野の高さマップを測定し、これらを合成高さマップに結合する方法であって、当該非接触表面形状測定装置の高さドリフトに対する感度が最小限に抑えられる方法を提供することを目的とする。【解決手段】非接触表面形状測定装置を用いて、測定対象の表面の複数の視野の高さマップを測定し、これらを合成高さマップに結合する方法であって、当該方法は、表面形状測定器を、ルートに沿って、1つの視野から別の視野に、測定対象に対して移動するステップと、表面形状測定器を用いて、ルートに沿って、表面について複数視野の高さマップを測定するステップと、表面の合成高さマップを生成するように、高さマップを互いに対して正規化することによって、測定された複数視野の高さマップを結合するステップとを含み、ルートは、複数の高さマップを結合する間、表面形状測定器の高さドリフトに対する感度が最小限に抑えられるように設定される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
非接触表面形状測定装置を用いて、測定対象の表面について複数視野の高さマップを測定し、これらを合成高さマップに結合する方法であって、
前記非接触表面形状測定装置を、ルートに沿って、1つの視野から別の視野に、前記表面に対して移動するステップと、
前記非接触表面形状測定装置を用いて、前記ルートに沿って、前記表面について前記複数の視野の複数の高さマップを測定するステップと、
前記表面の前記合成高さマップを生成するように、測定された前記複数の視野の前記複数の高さマップを結合するステップと、
を含み、
前記ルートは、前記複数の高さマップを結合する間に、前記非接触表面形状測定装置の高さドリフトによって引き起こされる影響に対する感度を最小限に抑えるように設定される、方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (10件)：
2F065AA24
, 2F065DD06
, 2F065FF10
, 2F065FF51
, 2F065GG04
, 2F065GG24
, 2F065MM01
, 2F065PP24
, 2F065QQ25
, 2F065QQ42
