特許
J-GLOBAL ID：201703007920168402
X線回折測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-010419
特許番号：特許第6060474号
出願日： 2016年01月22日
要約：
【課題】 3軸残留応力を測定する際、X線回折測定装置の筐体の位置と姿勢の調整に時間がかからず、測定対象物が狭い場所にある場合でも測定が困難にならないX線回折測定装置を提供する。
【解決手段】 X線回折測定装置の筐体50の傾斜角を、出射X線の光軸と交差する回転軸であって、交差する点がイメージングプレート15から設定された距離Lである回転軸周りに変更する傾斜角変更機構5を設ける。測定対象物OBのX線の照射点からイメージングプレート15までの距離を設定値Lにし、傾斜角変更機構5により筐体50の傾斜角を変更することで測定対象物OBに対するX線の入射角を異なる2つの状態にし、それぞれX線を測定対象物OBに照射してイメージングプレート15に撮像される回折環の形状を検出する。得られた2つの回折環の形状と2つの入射角から、3軸残留応力を計算する。
【選択図】図1
請求項（抜粋）：
【請求項1】 対象とする測定対象物に向けてX線を出射するX線出射器と、
前記X線出射器から前記測定対象物に向けてX線が照射された際、前記測定対象物にて発生した回折X線を、前記X線出射器から出射されるX線の光軸に対して垂直に交差する撮像面にて受光し、前記撮像面に前記回折X線の像である回折環を形成するとともに前記回折環の形状を検出する回折環形成検出手段と、
前記X線出射器と前記回折環形成検出手段とを内部に配置した筐体と、
前記筐体の傾斜角を、前記X線出射器から出射されるX線の光軸と交差する回転軸であって、交差する点が前記撮像面から予め設定された距離である回転軸周りに変更する傾斜角変更機構と、
前記X線出射器から出射されるX線の前記測定対象物に対する入射角を検出する入射角検出手段とを備えたX線回折測定装置において、
前記X線出射器、前記回折環形成検出手段、前記傾斜角変更機構及び前記入射角検出手段を制御するとともに、前記回折環形成検出手段が検出した回折環の形状と前記入射角検出手段が検出した角を用いて演算を行う制御手段を備え、
前記制御手段は、前記回転軸が前記X線の光軸と交差する点が前記測定対象物の測定箇所に合致した状態で、前記入射角検出手段に入射角を検出させた後、前記X線出射器と前記回折環形成検出手段を制御して、前記測定対象物にX線を照射して前記撮像面に撮像された回折環の形状を検出する第1回折環検出工程と、前記傾斜角変更機構を制御して前記筐体を異なる傾斜角にするとともに、前記入射角検出手段に入射角を検出させた後、前記X線出射器と前記回折環形成検出手段を制御して、前記測定対象物にX線を照射して前記撮像面に撮像された回折環の形状を検出する第2回折環検出工程と、前記第1回折環検出工程及び前記第2回折環検出工程で得られた2つの回折環の形状と2つの入射角とを用いて、3軸残留応力を計算する演算工程とを行うことを特徴とするX線回折測定装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
G01N 23/205
, G01N 23/205 310
