特許
J-GLOBAL ID：201503020979864692

X線回折測定装置およびX線回折測定装置による測定方法

発明者：
丸山 洋一

丸山 洋一 について


出願人/特許権者：
パルステック工業株式会社

パルステック工業株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-019106
公開番号（公開出願番号）：特開2015-145846
出願日： 2014年02月04日
公開日（公表日）： 2015年08月13日
要約：
【課題】 測定対象物が微小量であっても、形成した回折環から測定対象物の特性値を精度よく得る。【解決手段】 測定対象物に対するX線の入射角度を調整して、複数の入射角度ごとに回折環を形成し、その形状を検出する。検出した回折環の形状に基づくデータを作成し、そのデータを対応するX線の入射角度と、予め設定されたX線の入射角度とにより補正し、補正した複数の入射角度ごとのデータを1つのデータ群にして測定対象物の特性値を計算する。【選択図】図10
請求項（抜粋）：
対象とする測定対象物に向けてX線を出射するX線出射器と、 前記X線出射器から前記測定対象物に向けてX線を照射して、前記測定対象物にて発生したX線の回折光を、前記X線出射器から出射されるX線の光軸に対して垂直に交差する面にて受光し、前記面に前記X線の回折光の像である回折環を形成するとともに前記回折環の形状を検出する回折環形成検出手段とを備えたX線回折測定装置において、 前記X線出射器から出射されるX線の前記測定対象物に対する入射角度を変化させ固定するX線入射角調整手段と、 前記X線入射角調整手段により固定されたX線の前記測定対象物に対する入射角度を検出するX線入射角検出手段と、 前記回折環形状検出手段により検出した回折環の形状から回折環の形状に基づくデータを作成するデータ作成手段と、 前記データ作成手段により作成されたデータを、前記回折環形成検出手段が回折環を形成した状態における前記X線入射角検出手段が検出したX線の入射角度と、予め設定されたX線の入射角度とにより補正するデータ補正手段と、 前記データ補正手段により補正された複数のX線の入射角度におけるデータを1つのデータ群にし、前記測定対象物の特性値を計算する特性値計算手段とを備えたことを特徴とするX線回折測定装置。
IPC (1件)：
G01N 23/20
FI (1件)：
G01N23/20
Fターム (8件)：
2G001AA01 ,  2G001BA18 ,  2G001CA01 ,  2G001DA09 ,  2G001GA13 ,  2G001HA13 ,  2G001KA07 ,  2G001LA02
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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