特許
J-GLOBAL ID：201703007975686011
圧力センサ及び対応するセンサの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (3件)：
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
, 大貫 進介
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-560360
特許番号：特許第6122880号
出願日： 2013年03月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 圧力センサの製造方法であって、
上面、下面、外側凹部及び中央凹部を含む支持体を提供する工程と、
歪みゲージが上に堆積される可変薄膜であり、その中心に薄化領域を有する可変薄膜を提供する工程と、
微小機械構造体を得るために前記可変薄膜と前記支持体を組み立てる工程と、
を含み、
前記支持体は、前記可変薄膜の上方に配置され、
前記支持体の前記下面は、前記可変薄膜と接触し、
前記支持体の前記外側凹部は、前記歪みゲージの直上に配置され、
前記支持体の前記中央凹部は、前記可変薄膜の前記薄化領域の上方に配置され、
いったん前記の組み立て工程が完了すると、当該方法は、
少なくとも1つの拡散隔膜を堆積する工程であり、各前記外側凹部において、前記拡散隔膜は対応する歪みゲージと接触する、工程と、
少なくとも1つの導電性物質を前記支持体の前記上面の上及び前記支持体の前記外側凹部内に堆積する単一の工程と、
を含み、
前記導電性物質は前記外側凹部に延在し、前記歪みゲージと接触し、前記歪みゲージに接続する電気接点を形成する、
方法。
IPC (2件)：
G01L 9/00 ( 200 6.01)
, H01L 29/84 ( 200 6.01)
G01L 9/00 303 F
, H01L 29/84 B
, H01L 29/84 A
