圧力センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：三好秀和 , 三好保男 , 岩▲崎▼ 幸邦 , 川又澄雄 , 高橋俊一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-346053
公開番号（公開出願番号）：特開2004-177343
出願日： 2002年11月28日
公開日（公表日）： 2004年06月24日
要約：

【課題】被測定圧力媒体に対する耐久性能を向上させることができ、しかも小型で安価な圧力センサを提供する。【解決手段】ガラス台座10と、圧力により変位するダイアフラム26及び該ダイアフラム26に設けられダイアフラム26の変位により抵抗値が変化するピエゾ抵抗素子22を有するセンサ回路が形成され、且つ該センサ回路が形成された面がガラス台座10に対向して空間を形成するようにガラス台座10に接合されたシリコンチップ20とを備えている。また、ガラス台座10又はシリコンチップ20には、シリコンチップ20に形成されたセンサ回路からの信号を引き出すための貫通孔11が形成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

台座と、圧力により変位するダイアフラム及び該ダイアフラムに設けられダイアフラムの変位により抵抗値が変化するピエゾ抵抗素子を有するセンサ回路が形成され、且つ該センサ回路が形成された面が前記台座に対向して空間を形成するように前記台座に接合されたシリコンチップと、を備えることを特徴とする圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L9/00 , H01L29/84

FI (3件)：

G01L9/00 303K , G01L9/00 303M , H01L29/84 B

Fターム (34件)：

2F055AA40 , 2F055BB20 , 2F055CC02 , 2F055DD05 , 2F055EE14 , 2F055FF38 , 2F055GG14 , 2F055GG15 , 4M112AA01 , 4M112BA01 , 4M112CA01 , 4M112CA03 , 4M112CA07 , 4M112CA11 , 4M112DA01 , 4M112DA03 , 4M112DA04 , 4M112DA05 , 4M112DA06 , 4M112DA08 , 4M112DA09 , 4M112DA11 , 4M112DA12 , 4M112DA16 , 4M112DA18 , 4M112EA02 , 4M112EA06 , 4M112EA07 , 4M112EA10 , 4M112EA11 , 4M112EA13 , 4M112EA14 , 4M112FA11 , 4M112FA20

引用特許：

審査官引用 (12件)

半導体圧力検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-162164 出願人：日産自動車株式会社
特開平1-027274
特開平4-312980

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