特許
J-GLOBAL ID：201703008476166780
露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-539783
特許番号：特許第6075657号
出願日： 2013年10月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】投影光学系を介してエネルギビームで物体を露光する露光装置であって、
前記投影光学系を支持するメトロロジーフレームと、
前記物体を保持し、前記投影光学系の光軸と直交する所定平面に沿って移動可能な移動体と、
前記移動体を駆動する平面モータを有する駆動系と、
前記移動体に配置され、前記投影光学系の下端側で前記所定平面と実質的に平行となるように前記メトロロジーフレームに設けられるスケール部材に対してその下方から計測ビームをそれぞれ照射する複数のヘッドを有し、前記スケール部材からの戻りビームを受光して前記移動体の位置情報を計測する位置計測系と、
前記位置情報に基づいて前記駆動系を制御する制御系と、を備え、
前記スケール部材は、それぞれ反射型格子が形成される4つの部分を有し、
前記複数のヘッドはそれぞれ、前記所定平面内の2方向、及び前記所定平面に直交する方向の少なくとも1方向を計測方向とし、
前記位置計測系は、前記投影光学系が配置される露光ステーションで行われる前記物体の露光動作において前記移動体が移動される移動領域内で前記4つの部分とそれぞれ対向するように前記移動体に設けられる4つのヘッド群を有し、
前記4つのヘッド群のうち第1ヘッド群は、前記複数のヘッドのうち、少なくとも前記所定平面に直交する方向が前記計測方向である少なくとも3つのヘッドを含み、
前記少なくとも3つのヘッドのうち、少なくとも1つのヘッドは、前記所定平面に直交する方向に関する前記位置情報の計測に用いられる基準ヘッドであり、少なくとも2つのヘッドは、前記所定平面内の第1方向に関して前記基準ヘッドと位置が異なる少なくとも1つのヘッドおよび前記所定平面内で前記第1方向と直交する第2方向に関して前記基準ヘッドと位置が異なる少なくとも1つのヘッドを含み、前記所定平面に直交する方向に関する前記基準ヘッドの計測値との差分の計測に用いられる計測ヘッドであり、
前記制御系は、前記第1ヘッド群が前記4つの部分のうち第1部分と対向しつつ前記移動体が移動されるように前記駆動系を制御するとともに、前記第1ヘッド群で計測される位置情報に基づいて、前記所定平面に直交する方向に関する前記第1部分のグリッド誤差を較正する露光装置。
IPC (4件)：
G03F 7/20 ( 200 6.01)
, G01B 11/00 ( 200 6.01)
, G01B 11/26 ( 200 6.01)
, H01L 21/68 ( 200 6.01)
G03F 7/20 501
, G01B 11/00 C
, G01B 11/00 G
, G01B 11/26 G
, H01L 21/68 F
, H01L 21/68 K
