中性ビームの特徴付けのための診断方法および装置ならびにそれによるプロセス制御

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人広江アソシエイツ特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-538995
特許番号：特許第6178324号
出願日： 2012年10月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ビームを特徴付けるセンサ装置であって、中央領域周囲の筐体であって、特徴付けのために減圧チャンバからビームを前記中央領域に通すように構成された開口を有する筐体と、ビームを受け取りビームからのエネルギーを吸収するように前記中央領域内に配置され、前記筐体から少なくとも部分的に熱的に分離されるビームストライクと、前記受け取ったビームによる衝突によって誘発される温度変化を測定する温度センサと、前記中央領域と流体連結しており、前記開口を通じて入射するビームによって生じる前記筐体内の圧力変化を測定する第1の圧力センサと、前記測定された温度変化と前記測定された圧力変化とを処理してビームの特徴を判定する処理システムと、を備えるセンサ装置。

IPC (2件)：