特許
J-GLOBAL ID：201703009063660235

振動ミラー素子およびプロジェクタ

発明者：
田中 史記

田中 史記 について

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猪田 岳司

猪田 岳司 について

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西岡 謙

西岡 謙 について

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明渡 純

明渡 純 について


出願人/特許権者：
船井電機株式会社

船井電機株式会社 について

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国立研究開発法人産業技術総合研究所

国立研究開発法人産業技術総合研究所 について


代理人 (1件)： 宮園 博一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-039367
公開番号（公開出願番号）：特開2017-156522
出願日： 2016年03月01日
公開日（公表日）： 2017年09月07日
要約：
【課題】歪センサから安定した出力を得ることが可能な振動ミラー素子を提供する。【解決手段】この水平振動ミラー素子(振動ミラー素子)6は、ミラー部61と、ミラー部61を駆動する駆動部62と、ミラー部61の変位量を検出可能な歪センサ63と、ミラー部61が設けられる第1梁部64eと、歪センサ63が設けられる第2梁部64fと、第1梁部64eおよび第2梁部64fを支持し、駆動部62が設けられる本体部164とを含む基台64とを備える。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ミラー部と、 前記ミラー部を駆動する駆動部と、 前記ミラー部の変位量を検出可能な歪センサと、 前記ミラー部が設けられる第1梁部と、前記歪センサが設けられる第2梁部と、前記第1梁部および前記第2梁部を支持し、前記駆動部が設けられる本体部とを含む基台とを備える、振動ミラー素子。
IPC (2件)：
G02B 26/10 ,  G02B 26/08
FI (2件)：
G02B26/10 104Z ,  G02B26/08 E
Fターム (22件)：
2H045AB06 ,  2H045AB10 ,  2H045AB44 ,  2H045AB81 ,  2H045BA24 ,  2H141MA12 ,  2H141MB24 ,  2H141MC09 ,  2H141MD12 ,  2H141MD16 ,  2H141MD20 ,  2H141MD23 ,  2H141MD24 ,  2H141MD40 ,  2H141ME01 ,  2H141ME09 ,  2H141ME25 ,  2H141MF02 ,  2H141MG04 ,  2H141MZ06 ,  2H141MZ13 ,  2H141MZ16
引用特許：
審査官引用 (4件)
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