特許
J-GLOBAL ID:201603020294623576

レーザ走査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 小俣 純一 ,  三藤 誠司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-148043
公開番号(公開出願番号):特開2016-024316
出願日: 2014年07月18日
公開日(公表日): 2016年02月08日
要約:
【課題】走査ミラーの共振周波数が変化した場合であっても、対象物上の同一の測定ポイントで反射したレーザ光を正確なタイミングで受光することができるレーザ走査装置を提供する。【解決手段】光源10と、軸線Cを中心に揺動することにより光源10からのレーザ光を対象物20に向けて走査する走査ミラー14と、対象物20で反射したレーザ光を受光することにより受光信号を生成する受光部16と、光源10によるレーザ光の発光を制御し、且つ、受光信号をサンプリングする制御部40と、走査ミラー14の変位量を検出し、且つ、検出した変位量に基づいて走査ミラー14の共振周波数を算出する検出部18と、を備える。制御部40は、算出された共振周波数に基づいて、光源10からレーザ光が発光されるタイミング及び受光信号をサンプリングするタイミングをそれぞれ決定する。【選択図】図3
請求項(抜粋):
レーザ光を対象物に向けて走査するためのレーザ走査装置であって、 レーザ光を発光する光源と、 所定の軸線を中心に揺動することにより前記光源からのレーザ光を前記対象物に向けて走査する走査ミラーと、 前記対象物で反射したレーザ光を受光することにより受光信号を生成する受光部と、 前記光源によるレーザ光の発光を制御し、且つ、前記受光信号をサンプリングする制御部と、 前記走査ミラーの変位量を検出し、且つ、検出した前記変位量に基づいて前記走査ミラーの共振周波数を算出する検出部と、を備え、 前記制御部は、算出された前記共振周波数に基づいて、前記光源からレーザ光が発光されるタイミング及び前記受光信号をサンプリングするタイミングをそれぞれ決定する レーザ走査装置。
IPC (1件):
G02B 26/10
FI (2件):
G02B26/10 A ,  G02B26/10 104Z
Fターム (6件):
2H045AB10 ,  2H045AB38 ,  2H045AB44 ,  2H045BA02 ,  2H045CA99 ,  2H045DA41
引用特許:
審査官引用 (9件)
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