特許
J-GLOBAL ID:201703009391123050
センサおよび測定装置
発明者:
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出願人/特許権者:
,
代理人 (3件):
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 小室 敏雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-067626
公開番号(公開出願番号):特開2017-181248
出願日: 2016年03月30日
公開日(公表日): 2017年10月05日
要約:
【課題】センシング感度を向上させることができるセンサを提供する。【解決手段】本発明のセンサは、アンテナに接続された第1櫛形電極と、第1櫛形電極から離れて配置された第2櫛形電極とを有する圧電基板と、振動に応じた電圧を発生する振動検出素子と、第2櫛形電極に接続されるとともに振動検出素子が発生した電圧が印加される可変容量素子とを備え、第1櫛形電極が、アンテナから入力された電気信号を表面弾性波に変換して送信し、第2櫛形電極が、当該第2櫛形電極間のインピーダンスに応じて反射率を変化させて第1櫛形電極が送信した表面弾性波を反射し、そして、第1櫛形電極が、第2櫛形電極が反射した表面弾性波を受信して、電気信号に変換してアンテナへ出力する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
アンテナに接続された第1櫛形電極と、前記第1櫛形電極から離れて配置された第2櫛形電極とを有する圧電基板と、
振動に応じた電圧を発生する振動検出素子と、
前記第2櫛形電極に接続されるとともに前記振動検出素子が発生した電圧が印加される可変容量素子と
を備え、
前記第1櫛形電極が、前記アンテナから入力された電気信号を表面弾性波に変換して送信し、
前記第2櫛形電極が、当該第2櫛形電極間のインピーダンスに応じて反射率を変化させて前記第1櫛形電極が送信した表面弾性波を反射し、そして、
前記第1櫛形電極が、前記第2櫛形電極が反射した表面弾性波を受信して、電気信号に変換して前記アンテナへ出力する
センサ。
IPC (2件):
FI (2件):
G01H11/08
, G01N29/02 501
Fターム (12件):
2G047AA01
, 2G047AA05
, 2G047CA01
, 2G047CB03
, 2G047GB21
, 2G047GF13
, 2G064AB01
, 2G064AB02
, 2G064BA02
, 2G064BA07
, 2G064BA08
, 2G064BD18
引用特許: