特許
J-GLOBAL ID：201703009440778904

研削装置及び研削方法

発明者：
伊藤 祝子

伊藤 祝子 について

, 
現王園 二郎

現王園 二郎 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (4件)： 川村 恭子 ,  佐々木 功 ,  久保 健 ,  特許業務法人東京アルパ特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-134827
公開番号（公開出願番号）：特開2015-009295
特許番号：特許第6147587号
出願日： 2013年06月27日
公開日（公表日）： 2015年01月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 板状ワークを保持して回転する保持テーブルと、 該保持テーブルが保持した板状ワークを研削する研削手段と、 該保持テーブルの傾きを調整する傾き調整手段と、を少なくとも備えた研削装置であって、 該保持テーブルと基台との間の距離を測定する少なくとも3つの測定部と、 該保持テーブルに保持された板状ワークを該研削手段によって研削することにより板状ワークが均一な厚さに形成された場合に該測定部が測定した距離を記憶する記憶部と、 該傾き調整手段を制御する制御部と、 を備え、 該傾き調整手段は、該保持テーブルと該基台との間に配設され、該保持テーブルの中心を重心とした正三角形の頂点に配設された3つの支持部を備え、 少なくとも1つの支持部は、該保持テーブルと該基台との間の距離を変えることが可能であり、 該制御部は、該保持テーブルが保持した板状ワークを該研削手段が研削している間、該測定部が測定した距離と、該記憶部が記憶した距離とが一致するよう、該傾き調整手段を制御する、 研削装置。
IPC (2件)：
B24B 41/06 ( 201 2.01) ,  B24B 49/02 ( 200 6.01)
FI (2件)：
B24B 41/06 L ,  B24B 49/02 Z
引用特許：
審査官引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM