表示装置の製造方法、表示装置及び表示装置の製造装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人はるか国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-036011
公開番号（公開出願番号）：特開2017-152330
出願日： 2016年02月26日
公開日（公表日）： 2017年08月31日
要約：

【課題】異物の混入による歩留まりの低下を防止した表示装置の製造方法、表示装置及び表示装置の製造装置を提供する。【解決手段】表示装置の製造方法は、下部電極が設けられた基板を真空環境に置く第1工程と、発光層を含み、下部電極を覆う有機層を、真空下で形成する第2工程と、有機層を覆う上部電極を、真空下で形成する第3工程と、上部電極を覆う封止層を、真空下で形成する第4工程と、第1工程の終了後から第4工程の終了前までに、基板を洗浄する洗浄工程と、を有する。【選択図】図9

請求項（抜粋）：

下部電極が設けられた基板を真空環境に置く第1工程と、発光層を含み、前記下部電極を覆う有機層を、真空下で形成する第2工程と、前記有機層を覆う上部電極を、真空下で形成する第3工程と、前記上部電極を覆う封止層を、真空下で形成する第4工程と、前記第1工程の終了後から前記第4工程の終了前までに、前記基板を洗浄する洗浄工程と、を有する表示装置の製造方法。

IPC (7件)：

H05B 33/10 , H01L 51/50 , H05B 33/04 , H05B 33/26 , H05B 33/12 , H05B 33/22 , G09F 9/30

FI (10件)：

H05B33/10 , H05B33/14 A , H05B33/04 , H05B33/26 Z , H05B33/22 D , H05B33/22 B , H05B33/12 B , H05B33/22 Z , G09F9/30 309 , G09F9/30 365

Fターム (22件)：

3K107AA01 , 3K107BB01 , 3K107CC23 , 3K107CC27 , 3K107CC45 , 3K107DD72 , 3K107DD75 , 3K107DD78 , 3K107DD81 , 3K107DD89 , 3K107EE50 , 3K107GG04 , 3K107GG22 , 3K107GG28 , 3K107GG33 , 3K107GG37 , 3K107GG41 , 5C094AA42 , 5C094BA27 , 5C094DA13 , 5C094DA14 , 5C094GB01

引用特許：

審査官引用 (8件)

有機EL装置及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-231821 出願人：東芝モバイルディスプレイ株式会社
有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルの製造装置および製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-161647 出願人：富士電機株式会社
製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-284342 出願人：株式会社半導体エネルギー研究所

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