特許
J-GLOBAL ID:201703011256122138
固体撮像装置、および電子機器
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人信友国際特許事務所
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-109636
公開番号(公開出願番号):特開2014-229810
特許番号:特許第6130221号
出願日: 2013年05月24日
公開日(公表日): 2014年12月08日
請求項(抜粋):
【請求項1】 一主面側を受光面とし、前記受光面に沿って複数の画素が設定された半導体層と、
前記半導体層内に設けられた第1の光電変換部と、
前記半導体層内に設けられ、前記第1の光電変換部と異なる領域に設けられた第2の光電変換部と、
前記第1の光電変換部と前記第2の光電変換部に挟まれた領域に、半導体層の内部にp型不純物の拡散領域として構成された分離領域と、
前記第1の光電変換部と前記第2の光電変換部に挟まれた領域の、前記半導体層の受光面側に形成された溝パターン内に絶縁層を設けて構成された溝型素子分離と、
を備え、
前記溝型素子分離と前記分離領域の中心が平面視的にずれた位置に形成され、
前記分離領域は、前記受光面と逆側の面から前記溝型素子分離の底部に達する深さに設けられた
固体撮像装置。
IPC (6件):
H01L 27/146 ( 200 6.01)
, H04N 5/357 ( 201 1.01)
, H04N 5/369 ( 201 1.01)
, H04N 5/374 ( 201 1.01)
, H04N 9/07 ( 200 6.01)
, H04N 9/04 ( 200 6.01)
FI (6件):
H01L 27/14 A
, H04N 5/335 570
, H04N 5/335 690
, H04N 5/335 740
, H04N 9/07 A
, H04N 9/04 B
引用特許:
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