特許
J-GLOBAL ID:201703011389588938
研削加工装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大谷 嘉一
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-135699
公開番号(公開出願番号):特開2015-009309
特許番号:特許第6202906号
出願日: 2013年06月28日
公開日(公表日): 2015年01月19日
請求項(抜粋):
【請求項1】 板状ワークを保持して回転するワークテーブルと、当該板状ワークを研削する砥石と当該板状ワークを前記ワークテーブルに受け渡しするための受け渡しハンドとを備え、
ワークテーブルはC軸回転制御され、
砥石はX軸方向移動制御され、
前記C軸回転制御手段が板状ワークの大きさに応じてダイレクトドライブ制御又は減速制御され、
前記砥石は板状ワークの外形を研削するための外形砥石と、板状ワークに穴加工又は/及び凹部加工をするための内形砥石とを有し、
前記外形砥石と前記内形砥石と前記受け渡しハンドとが個々に相対的に昇降制御されるとともに全体が一体的にX軸方向移動制御され、
前記受け渡しハンドに前記板状ワークを受け渡しするための搬送ハンドを有し、
前記搬送ハンドは上側と下側にそれぞれワークの吸引保持手段を有することを特徴とする研削加工装置。
IPC (2件):
B24B 41/06 ( 201 2.01)
, B24B 41/047 ( 200 6.01)
FI (3件):
B24B 41/06 L
, B24B 41/06 A
, B24B 41/047
引用特許:
審査官引用 (11件)
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硬質脆性板の周縁加工装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2011-140974
出願人:中村留精密工業株式会社
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切替式回転駆動装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2007-315685
出願人:株式会社ハーモニック・エイディ
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特開平1-234132
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ランドリー機器
公報種別:公開公報
出願番号:特願2010-072170
出願人:株式会社東芝, 東芝コンシューマエレクトロニクス・ホールディングス株式会社, 東芝ホームアプライアンス株式会社
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加工装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2008-158069
出願人:ダイトロンテクノロジー株式会社
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ウェーハ面取り方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-285584
出願人:株式会社東京精密
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硬質脆性板の周縁加工装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2011-171757
出願人:中村留精密工業株式会社
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研削装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-204293
出願人:光洋精工株式会社, 光洋機械工業株式会社
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機械研磨方法、機械研磨装置および研磨物
公報種別:公開公報
出願番号:特願2007-281533
出願人:東ソー株式会社
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ディスク基板の周縁研削装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-209785
出願人:中村留精密工業株式会社
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ディスクの周縁研削装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-085358
出願人:中村留精密工業株式会社
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