蒸発源装置

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：吉井剛 , 吉井雅栄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-288020
公開番号（公開出願番号）：特開2014-129568
特許番号：特許第6106433号
出願日： 2012年12月28日
公開日（公表日）： 2014年07月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】蒸着材料が収容される材料収容部と、この材料収容部で加熱されて蒸発した前記蒸着材料を一時的に貯留させる材料貯留部及びこの材料貯留部の蒸着材料を対向する基板に向かって噴出させる噴出口を有する複数の噴出口部とを備えた蒸発源装置であって、複数の前記噴出口部で前記材料貯留部を共有する構成とし、複数の前記噴出口を前記基板に対して移動させる噴出口移動機構と、前記基板上に形成された薄膜の膜厚分布を測定しこの膜厚分布に応じて前記噴出口移動機構を制御する移動制御機構とを備え、蒸着中に前記基板上に成膜される薄膜の膜厚分布を調整し得るように構成したことを特徴とする蒸発源装置。

IPC (1件)：