特許
J-GLOBAL ID：201703012907129582
ビア形状測定装置及びビア検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大山 健次郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-133331
公開番号（公開出願番号）：特開2015-008241
特許番号：特許第6142996号
出願日： 2013年06月26日
公開日（公表日）： 2015年01月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板の表面に形成されたビアの底面のサイズないし直径を測定するビア形状測定装置であって、
基板に対して透明な照明光を発生する光源装置と、
光源装置から出射した照明光を基板に向けて投射する照明光学系と、
光軸が基板表面と直交するように配置され、前記ビアで反射し基板の裏面から出射する反射光を集光する対物光学系と、
対物レンズにより集光された反射光を受光する撮像素子と、
前記撮像素子から出力される画像信号から、ビアの底面のサイズを求める信号処理装置とを有し、
前記照明光学系は、前記対物レンズの光軸を含み基板表面と直交する光入射面内において、対物レンズの光軸をはさんで互いに反対向きの入射角で基板表面に入射する第1及び第2の照明ビームを投射する第1及び第2の照明ビーム投射手段を有し、
前記信号処理装置は、前記撮像素子から出力される画像信号から、ビア底面のエッジ又はその近傍の輝度画像に対応する第1及び第2の輝度画像を検出する手段と、
検出された第1及び第2の輝度画像間の間隔を求める手段とを有することを特徴とするビア形状測定装置。
IPC (5件)：
H01L 21/66 ( 200 6.01)
, G01B 11/08 ( 200 6.01)
, H01L 23/522 ( 200 6.01)
, H01L 21/768 ( 200 6.01)
, H01L 21/3205 ( 200 6.01)
H01L 21/66 J
, G01B 11/08 H
, H01L 21/88 J
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (10件)
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