特許
J-GLOBAL ID：201703012912070120
インプリント用光硬化性組成物及び膜の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
渡辺 敬介
, 山口 芳広
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-028701
公開番号（公開出願番号）：特開2014-077110
特許番号：特許第6176937号
出願日： 2013年02月18日
公開日（公表日）： 2014年05月01日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 下記成分(A)乃至成分(C)を有することを特徴とする、インプリント用光硬化性組成物。
(A)重合性化合物
(B)光重合開始剤
(C)下記一般式(1)に示される界面活性剤
Rf1-Rc-X (1)
(一般式(1)において、Rf1は、フッ素原子及び炭素原子のみで構成され、かつトリフロロメチル基を2つ以上有する置換基であり、Rcは、ポリエチレンオキサイド、ポリプロピレンオキサイド又はアルキレン基であり、Xは、ヒドロキシル基、カルボキシル基、スルホ基、アミノ基、アルコキシ基又はフッ素原子及び炭素原子のみで構成され、かつトリフロロメチル基を2つ以上有する置換基である。尚、Xがアルコキシ基又はフッ素原子及び炭素原子のみで構成され、かつトリフロロメチル基を2つ以上有する置換基である場合、Rf1及びXは、互いに同一であってもよいし異なっていてもよい。)
IPC (5件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01)
, B29C 59/02 ( 200 6.01)
, C08F 2/48 ( 200 6.01)
, C08F 2/44 ( 200 6.01)
, C08F 283/06 ( 200 6.01)
H01L 21/30 502 D
, B29C 59/02 Z
, C08F 2/48
, C08F 2/44 B
, C08F 283/06
