水晶片の製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-262986
公開番号（公開出願番号）：特開2014-110477
特許番号：特許第6158501号
出願日： 2012年11月30日
公開日（公表日）： 2014年06月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 X軸、Y軸、Z軸の結晶軸を有した水晶から前記Y軸側を向く面を前記X軸まわりに所定の角度で回転させて設定される前記X軸、Y ́軸、Z ́軸を向いた面が形成されるATカットの水晶ウエハの主面にパターニングされた耐食膜およびフォトレジストからなるマスクを形成した後、ウェットエッチングを行い板状の水晶片を形成する水晶片の製造方法であって、前記マスクの向きを、前記Y ́軸を中心に前記X軸に対して、 0°<θ<+0.5°又は、-0.5°<θ<0° の範囲となるように、前記X軸および前記Z ́軸に平行な前記水晶ウエハの両主面に設け、この状態でウェットエッチングを行うことで複数の水晶片を形成することを特徴とする水晶片の形成方法。

IPC (1件)：