特許
J-GLOBAL ID：201703014112468721

ガスセンサ

発明者：
服部 敦夫

服部 敦夫 について


出願人/特許権者：
ヤマハファインテック株式会社

ヤマハファインテック株式会社 について


代理人 (1件)： 水野 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-059427
公開番号（公開出願番号）：特開2017-173126
出願日： 2016年03月24日
公開日（公表日）： 2017年09月28日
要約：
【課題】熱伝導式のガスセンサにおいて、製造がより容易なガスセンサを提供する。【解決手段】熱伝導式のガスセンサ100は、低熱伝導部117,118と、低熱伝導部117,118の上に設けられた検出用ヒータ141および補償用ヒータ142とを有している。ガスセンサ100は、また、補償用ヒータ142を基準として低熱伝導部118とは反対側の位置に密閉された空間192を形成する密閉部を有している。これらの検出用ヒータ141、補償用ヒータ142および密閉部は、いずれも薄膜として形成されており、ガスセンサ100は、検出用ヒータ141および補償用ヒータ142の温度が測定できるように構成されている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
熱伝導式のガスセンサであって、 低熱伝導部と、 前記低熱伝導部の上に設けられた検出用ヒータおよび補償用ヒータと、 前記補償用ヒータを基準として前記低熱伝導部とは反対側の位置に密閉された空間を形成する密閉部と、 を備え、 前記検出用ヒータ、前記補償用ヒータおよび前記密閉部は、薄膜であり、 前記ガスセンサは、前記検出用ヒータおよび前記補償用ヒータの温度が測定できるように構成されている、 ガスセンサ。
IPC (1件)：
G01N 27/18
FI (1件)：
G01N27/18
Fターム (12件)：
2G060AA01 ,  2G060AB02 ,  2G060AB04 ,  2G060AE19 ,  2G060AE33 ,  2G060AF07 ,  2G060AG06 ,  2G060AG08 ,  2G060AG10 ,  2G060BA05 ,  2G060BD02 ,  2G060HC02
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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