特許
J-GLOBAL ID：201703014290203502

FePt-C系スパッタリングターゲット

発明者：
宮下 敬史

宮下 敬史 について

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後藤 康之

後藤 康之 について

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櫛引 了輔

櫛引 了輔 について

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青野 雅広

青野 雅広 について

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西浦 正紘

西浦 正紘 について


出願人/特許権者：
田中貴金属工業株式会社

田中貴金属工業株式会社 について


代理人 (4件)： 松山 圭佑 ,  高矢 諭 ,  牧野 剛博 ,  藤田 崇
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-010130
公開番号（公開出願番号）：特開2016-094671
特許番号：特許第6114843号
出願日： 2016年01月21日
公開日（公表日）： 2016年05月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 Fe、PtおよびCを含有するFePt-C系スパッタリングターゲットであって、 Ptを40〜60at%含有して残部がFeおよび不可避的不純物からなるFePt系合金相と、不可避的不純物を含むC相とが互いに分散した構造を有し、ターゲット全体に対するCの含有量が21〜70at%であり、かつ、ターゲット全体に対する酸素の含有量が100質量ppm以下であり、さらにターゲット全体に対する窒素の含有量が30質量ppm以下であることを特徴とするFePt-C系スパッタリングターゲット。
IPC (5件)：
C23C 14/34 ( 200 6.01) ,  C22C 5/04 ( 200 6.01) ,  C22C 30/00 ( 200 6.01) ,  G11B 5/851 ( 200 6.01) ,  G11B 5/64 ( 200 6.01)
FI (5件)：
C23C 14/34 A ,  C22C 5/04 ,  C22C 30/00 ,  G11B 5/851 ,  G11B 5/64
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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引用文献：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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