特許
J-GLOBAL ID：201703014383772833
酸化ガリウム単結晶育成用ルツボおよび酸化ガリウム単結晶の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
杉村 憲司
, 川原 敬祐
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-186988
公開番号（公開出願番号）：特開2017-061396
出願日： 2015年09月24日
公開日（公表日）： 2017年03月30日
要約：
【課題】ルツボからの不純物の混入がなく、安価に酸化ガリウム単結晶を育成することを実現できる酸化ガリウム単結晶育成用ルツボおよび酸化ガリウム単結晶の製造方法を提供する。【解決手段】酸化ガリウム単結晶の育成に用いられ、酸化ガリウム融液30を保持するルツボ100であって、酸化ガリウム鋳塊10からなる本体部と、該本体部の周囲に付与した酸化ガリウム粉末の成型体と、を有するルツボ100し、ルツボ100を用いて酸化ガリウム融液30を保持する工程と、酸化ガリウム融液30にシード50を接触させて、シード50を引き上げて、シード50の下端に酸化ガリウム単結晶を育成させる工程とを有する酸化ガリウム単結晶の製造方法。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
酸化ガリウム単結晶の育成に用いられ、酸化ガリウム融液を保持するルツボであって、
酸化ガリウムから構成されることを特徴とするルツボ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
4G077AA02
, 4G077BB10
, 4G077CF10
, 4G077EG02
, 4G077PD02
