特許
J-GLOBAL ID：201103092988435274

酸化ガリウム単結晶の製造方法および酸化ガリウム単結晶

発明者：
会田 英雄

会田 英雄 について

, 
西口 健吾

西口 健吾 について

, 
小山 浩司

小山 浩司 について


出願人/特許権者：
並木精密宝石株式会社

並木精密宝石株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-017071
公開番号（公開出願番号）：特開2011-153054
出願日： 2010年01月28日
公開日（公表日）： 2011年08月11日
要約：
【課題】既存の育成炉を改造することなく用いて、融液に種結晶を接触させて結晶成長させるバッチ生産方式により、より大きいサイズの酸化ガリウム単結晶を効率良く量産できる酸化ガリウム単結晶の製造方法を提供する。【解決手段】酸化ガリウムを含む原料の密度を高密度化する高密度化工程と、高密度化処理された原料を坩堝内にて溶融し、1バッチ分の融液2を得る溶融工程と、融液2に種結晶10を接触させることにより、融液2から酸化ガリウム単結晶13を結晶成長させる結晶成長工程と、を少なくとも経て、酸化ガリウム単結晶13を製造する酸化ガリウム単結晶の製造方法。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
酸化ガリウムを含む原料の密度を高密度化する高密度化工程と、 高密度化処理された原料を坩堝内にて溶融し、1バッチ分の融液を得る溶融工程と、 上記融液に種結晶を接触させることにより、上記融液から酸化ガリウム単結晶を結晶成長させる結晶成長工程と、 を少なくとも経て、酸化ガリウム単結晶を製造することを特徴とする酸化ガリウム単結晶の製造方法。
IPC (2件)：
C30B 29/16 ,  C30B 15/24
FI (2件)：
C30B29/16 ,  C30B15/24
Fターム (8件)：
4G077AA02 ,  4G077BB10 ,  4G077CF01 ,  4G077CF03 ,  4G077EC05 ,  4G077HA02 ,  4G077PA16 ,  4G077PK03
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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引用文献：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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