特許
J-GLOBAL ID：201703014508036123
アンモニアの回収方法及びそれを用いたアンモニアの再利用方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大谷 保
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-119511
公開番号（公開出願番号）：特開2013-245131
特許番号：特許第6103337号
出願日： 2012年05月25日
公開日（公表日）： 2013年12月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 窒化ガリウム系化合物半導体の製造工程から排出されるアンモニアを10〜40vol%含み、その他の成分として、水素、窒素、固体化合物、及び、メタンまたはエタンを含む排ガスを、フィルター濾過して該排ガスに含まれる固体化合物を除去した後、加圧処理及び冷媒として液化対象と同一のアンモニアを用いたヒートポンプによる冷却処理を行なうことにより、該排ガスに含まれるアンモニアを液化して、水素、窒素、及び、メタンまたはエタンと分離し、アンモニアを回収することを特徴とするアンモニアの回収方法。
IPC (4件)：
C01C 1/12 ( 200 6.01)
, F25J 1/00 ( 200 6.01)
, B01D 53/58 ( 200 6.01)
, B01D 53/76 ( 200 6.01)
C01C 1/12 A
, F25J 1/00 ZAB D
, B01D 53/58
, B01D 53/76
出願人引用 (3件)
審査官引用 (6件)
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