特許
J-GLOBAL ID：201703014706583245
基板検査装置および基板検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 伸司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-176675
公開番号（公開出願番号）：特開2015-045563
特許番号：特許第6147142号
出願日： 2013年08月28日
公開日（公表日）： 2015年03月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 検査用電流を出力する電源部と、前記検査用電流が回路基板の導体パターンにおける一対の供給箇所に供給されている供給状態における前記電源部と当該導体パターンとの間の電流値を検出する電流検出部と、前記供給状態における前記一対の供給箇所間の電圧値を検出する電圧検出部とを有する検査回路をn(nは2以上の整数)個備えると共に、前記電流値および前記電圧値に基づいてn個の前記導体パターンの導通検査を並行して実行可能な処理部を備えた基板検査装置であって、
前記各検査回路は、前記電源部の一方の電位と前記一対の供給箇所の一方との間の第1電流値を前記電流値として検出する前記電流検出部としての第1電流検出部と、前記電源部の他方の電位と前記一対の供給箇所の他方との間の第2電流値を前記電流値として検出する前記電流検出部としての第2電流検出部とをそれぞれ備え、
前記処理部は、前記第1電流値、前記第2電流値および前記電圧値に基づいて前記導通検査を実行する基板検査装置。
IPC (2件)：
G01R 31/02 ( 200 6.01)
, H05K 3/00 ( 200 6.01)
