特許
J-GLOBAL ID：201703015296140150
ロードポートユニット及びEFEMシステム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
岡部 讓
, 臼井 伸一
, 越智 隆夫
, 吉澤 弘司
, 齋藤 正巳
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-119576
公開番号（公開出願番号）：特開2014-239096
特許番号：特許第6198043号
出願日： 2013年06月06日
公開日（公表日）： 2014年12月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 収容物を収容したポッドより蓋を取外し、前記収容物の前記ポッドから微小空間への取出しを可能とするロードポートユニットであって、
前記微小空間を外部空間と隔置する壁を構成する閉鎖プレートと、
前記閉鎖プレートに設けられる開口部と、
前記開口部の開閉、及び前記ポッドに対する蓋の固定及び固定の解除を行って前記ポッドからの前記蓋の取り付け及び取り外し、を可能なドアと、
前記ドアを駆動するドア駆動機構と、
前記ドアとは独立して動作するように前記微小空間内に配置され、前記ポッドの内部に向けた不活性ガスの供給を行なう不活性ガスノズルと、
前記微小空間内において上方から下方に向かうダウンフローを形成するファンフィルタユニットと、
前記ドアとは独立して動作するように前記微小空間に向けて開口し、前記ダウンフローに含まれる気体を前記微小空間及び前記ポッドから余剰気体として吸引排気するように、前記ダウンフローにおける前記開口部よりも下流側で開口するように配置される排気ユニットと、を有し、
前記排気ユニットが構成する前記微小空間側に向けて開口して前記余剰気体が通過する排気経路の排気開口部は、前記ドア駆動機構の上端と前記ポッドの開口の下辺との間であって、前記ポッドにおける開口幅以上の範囲において開口することを特徴とするロードポートユニット。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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