特許
J-GLOBAL ID：201203083098390654

蓋体開閉装置

発明者：
菅原 佑道

菅原 佑道 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-058098
公開番号（公開出願番号）：特開2012-195438
出願日： 2011年03月16日
公開日（公表日）： 2012年10月11日
要約：
【課題】蓋体の内部空間を介してFOUPの搬送領域の雰囲気が基板搬送領域に混入することを抑えることができる技術を提供すること。【解決手段】開閉ドアにより開閉される搬送口の口縁部に、FOUPの基板取り出し口の口縁部を密着させた状態で、前記開閉ドアに設けられるパージガス吐出部を前記蓋体の前面側の開口部を介して蓋体の内部空間に進入させ、当該内部空間にパージガスを吐出し、その雰囲気を当該開口部とは異なる開口部からFOUPと前記開閉ドアとの間に形成される閉塞空間へと強制的に排出させる。それによって前記内部空間を介してFOUPの搬送領域の雰囲気が、基板搬送領域に持ち込まれることを防ぐ。【選択図】図12
請求項（抜粋）：
FOUPの搬送領域の雰囲気と基板搬送領域の雰囲気とを区画する隔壁に形成され、開閉ドアにより開閉される搬送口の口縁部に、FOUPの基板取り出し口の口縁部を密着させ、前記開閉ドアに設けられた蓋体取り外し機構を、FOUPの蓋体の前面側の開口部を介して蓋体内に進入させて蓋体とFOUP本体との係合を解除し、当該蓋体を保持するように構成されたFOUPの開閉装置において、 前記搬送口の口縁部に密着したFOUPと、前記開閉ドアとの間に形成される閉塞された空間の雰囲気を排気する排気口と、 前記開閉ドアに設けられ、前記蓋体の前面側の開口部を介して蓋体の内部空間に進入して、当該内部空間にパージガスを吐出し、前記内部空間の雰囲気を蓋体における当該開口部とは異なる開口部から前記閉塞空間へと排出するためのパージガス吐出部と、 を備えたことを特徴とする蓋体開閉装置。
IPC (1件)：
H01L 21/677
FI (1件)：
H01L21/68 A
Fターム (10件)：
5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031DA08 ,  5F031EA12 ,  5F031EA20 ,  5F031FA03 ,  5F031FA09 ,  5F031FA12 ,  5F031MA15 ,  5F031NA10
引用特許：
審査官引用 (8件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM