特許
J-GLOBAL ID：201703015310258828

干渉計方式により間隔測定するための機構

発明者：
ヴォルフガング・ホルツアップフェル

ヴォルフガング・ホルツアップフェル について


出願人/特許権者：
ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング

ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング について


代理人 (5件)： 小野 新次郎 ,  小林 泰 ,  富田 博行 ,  星野 修 ,  山崎 幸作
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-171642
公開番号（公開出願番号）：特開2013-050448
特許番号：特許第6063166号
出願日： 2012年08月02日
公開日（公表日）： 2013年03月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 光源(3.1;13.1)、少なくとも一つの分光器要素(1.2;11.2)、少なくとも一つのリフレクタ要素(2.2,3.5,3.6;12.1,12.2,13.5)、光を屈折させるための複数の屈折要素、光を反射させるための複数の逆反射器(RR)、および検知ユニット(4;14)を有し、広範囲に平行に配設された二つのプレート(1,2;11,12)間で干渉計方式により間隔測定するための機構において、 - 光源(3.1;13.1)から発せられた光束が、第一プレート(1;11)にある分光器要素(1.2;11.2)に傾斜して当たり、そこで反射される参照光束(R)と透過する測定光束(M)に分割され、そして - 測定光束(M)は第二プレート(2)にあるリフレクタ要素(2.2;12.2)に当たり、そこで第一プレート(1)の方向に第一逆反射を受け、そして - 参照光束(R)は第一屈折要素を、測定光束(M)は第二屈折要素を通過し、参照光束および測定光束(R,M)は引き続いて、それぞれ関連配置された逆反射器(RR)によって反射され、そして測定光束(M)は第三屈折要素を、参照光束(R)は第四屈折要素を通過し、そこで第一と第二屈折要素も第三と第四屈折要素も、通過する参照光束および測定光束(R,M)に対してそれぞれ異なった屈折作用を効かせ、そして - 参照光束(R)は第一プレート(1;11)で反射を受け、そして - 測定光束(M)は第二プレート(2;12)のリフレクタ要素(2.2;12.3)で第二逆反射を受け、それにより - 測定光束(M)および参照光束(R)が、共直線で検知ユニット(4;14)の方向に伝播し、そこで、干渉する測定光束および参照光束(M,R)から、位相がずれた複数の距離信号(S0,S120,S240)を生成することができる ことを特徴とする機構。
IPC (3件)：
G01B 11/14 ( 200 6.01) ,  G01D 5/38 ( 200 6.01) ,  G01D 5/347 ( 200 6.01)
FI (3件)：
G01B 11/14 G ,  G01D 5/38 G ,  G01D 5/347 110 X
引用特許：
出願人引用 (6件)
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